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平場光譜儀，采用全息凹球面變線距光柵進(jìn)行分光，具有平場特性，便于使用面陣CCD記錄光譜。光柵工作在掠入射模式下，衍射效率高，同時(shí)通過選用不同的光柵型號，可以實(shí)現(xiàn)波長范圍0.6~200nm的全覆蓋。